華測儀器電化學遷移評價系統(tǒng)問世

隨著半導體器件小型化的進展，在過于苛刻的條件下評估電遷移變得至關(guān)重要。電遷移評估系統(tǒng)提供基于溫度和電流應力（影響器械使用壽命的兩個主要因素）的準確測量以及用于確定判斷器械壽命所需參數(shù)的分析軟件。旨在滿足廣泛的評估需求，從評估到生產(chǎn)管理，提供增強的可操作性、可靠性和簡化的數(shù)據(jù)分析。

華測儀器作為行業(yè)內(nèi)的突出者，始終秉持著對技術(shù)創(chuàng)新的執(zhí)著追求，憑借深厚的技術(shù)積累與專業(yè)的研發(fā)團隊，致力于為材料電學測試領(lǐng)域提供優(yōu)秀的解決方案。此次電化學遷移評價系統(tǒng)的推出，無疑是華測儀器在該領(lǐng)域的又一重大里程碑。

性能

240通道評價試驗 在單個櫥柜中的3個烤箱中

2個通道 (DUT) = 1個插座

5個插座 = 1個 DUT 板

8個 DUT 板 = 1個烤箱

3個烘箱 = 1個柜

在單個烤箱中較多可測試80個通道或DUT，使每個機柜有240個通道。然而，主機 PC 可以控制多達1200個通道或5個滿載機柜。

高精度溫度 控制在350°C以下

該烘箱能夠檢測高達350℃的溫度，并在300℃下提供±3.5℃的高度準確溫度分布。每個烘箱均配有獨立的控制器，用于單獨的溫度設置。

當前應力應用至200 mA

能夠施加0.1 mA至 200 mA 之間的應力電流。

高度可靠的雙重接觸 板結(jié)構(gòu)

DUT 板和插座連接具有雙觸點結(jié)構(gòu)，以實現(xiàn)更強的固定。該結(jié)構(gòu)設計確保在高溫下進行長期評價的可靠性更高。

連接板

引腳分配亂序功能使得即使使用具有不同引腳布局的 DUT 也可以評估 ESPEC DUT 板。

四種試驗模式

能夠在強制降解溫度和電流下通過測量電阻進行四種不同的檢測：電遷移、強制降解遷移、溫度特性 (TCR) 和擠壓。